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表面发射光子器件
Abstract:
一种表面反射光子器件包括:衬底;以及该衬底上的波导结构。该波导结构包括沿着其纵轴的有源区,且该有源区用于生成光。波导结构还具有在其中形成的沟槽,沟槽相对于有源区处于横向上并界定在有源区的一末端处形成倾斜端面的第一壁,第一壁具有相对于波导结构的纵轴处于不平行角度的法线。该沟槽还界定与第一壁相对而放置的第二壁。
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