超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置
Abstract:
本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括:基板,具有开口;支撑膜,设置在上述基板上、用于封闭上述开口;以及压电元件,设置于开口对应部位,上述开口对应部位是设置于上述支撑膜上、且在从上述基板的厚度方向的俯视观察时与上述开口重叠的区域,其中,上述支撑膜的上述开口对应部位的上述俯视观察时的重心位置的厚度小于上述支撑膜的上述开口对应部位的与上述开口连接的外缘部的厚度。
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