应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定方法及装置
Abstract:
本发明公开了一种应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定装置,所述标定装置包括:工作平台、龙门、标定尺、斜垫块、图像采集设备CCD,单轴位移平台,所述吸盘放置于所述工作平台上,所述标定尺放置于所述斜垫块上且设置有等间距的固定图形,所述斜垫块放置于所述吸盘一侧,所述工作平台上设有龙门,所述CCD通过所述单轴位移平台与所述龙门上滑动连接。相应地,本发明提供了一种应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定方法,本发明结构简单,测量误差较小,实用性较强,通过简单的结构能够实现标定CCD的测量变化,通过测量结果计算出CCD在图像采集过程中发生的偏移误差,对CCD的位移平台进行补偿。
Patent Agency Ranking
0/0