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沉积方法及装置
Abstract:
本发明首先涉及一种在基底(11)上沉积由有机原始材料构成的层的方法,其中,将有机原始材料作为形式为载气流中的悬浮粒子的气溶胶送入蒸发器(1),所述悬浮粒子从而在该蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发,其中,以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入处理室(10),该蒸气在该处理室内于该基底(11)表面发生冷凝并形成层。为了减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率,本发明提出如下解决方案:改变该传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置及一种用于沉积OLED的装置。
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