Invention Publication
- Patent Title: 沉积方法及装置
- Patent Title (English): Method and device for depositing oleds, in particular evaporation device therefor
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Application No.: CN201280030857.7Application Date: 2012-06-06
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Publication No.: CN103620086APublication Date: 2014-03-05
- Inventor: M.朗 , M.格斯多夫
- Applicant: 艾克斯特朗欧洲公司
- Applicant Address: 德国黑措根拉特
- Assignee: 艾克斯特朗欧洲公司
- Current Assignee: 艾克斯特朗欧洲公司
- Current Assignee Address: 德国黑措根拉特
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 任宇
- Priority: 102011051261.6 2011.06.22 DE
- International Application: PCT/EP2012/060645 2012.06.06
- International Announcement: WO2012/175334 DE 2012.12.27
- Date entered country: 2013-12-23
- Main IPC: C23C16/448
- IPC: C23C16/448

Abstract:
本发明首先涉及一种在基底(11)上沉积由有机原始材料构成的层的方法,其中,将有机原始材料作为形式为载气流中的悬浮粒子的气溶胶送入蒸发器(1),所述悬浮粒子从而在该蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发,其中,以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入处理室(10),该蒸气在该处理室内于该基底(11)表面发生冷凝并形成层。为了减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率,本发明提出如下解决方案:改变该传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置及一种用于沉积OLED的装置。
Public/Granted literature
- CN103620086B 沉积方法及装置 Public/Granted day:2017-09-29
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IPC分类: