共聚焦计测装置
Abstract:
本发明提供一种能够达到高计测精度的共聚焦计测装置。共聚焦计测装置(101)具有:光源(21),其出射多个波长的光;衍射透镜(1),其使来自光源(21)的光产生色像差;物镜(2),其将产生了色像差的光聚集到计测对象物(200);针孔(光纤(11)),其使聚焦的光通过;测定部(光谱仪(23)及摄像元件(24)),其针对不同的波长测定光的强度。衍射透镜(1)具有形成有用于产生色像差的衍射图案的衍射面(1a)和位于衍射面(1a)的相反一侧的平面(1b)。在衍射透镜(1)的平面(1b)配置有以衍射透镜(1)的光轴(X)为中心的圆形的遮光膜(4)。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0