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Invention Grant
CN104167510B 沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法 有权 复审申请

沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法
Abstract:
本发明公开了对于基本上相同的有机发光显示装置的批量生产可以显著降低维护和维修时间的沉积装置和方法。沉积装置包括：传送单元，包括配置为在第一方向传送基底可被可拆卸地附着在其上的移动单元的第一传送单元和被配置为在与第一方向相反的返回方向传送各基底已经从其分离的空移动单元的第二传送单元；装载单元，被配置为将基底和各移动单元进行配合；沉积单元，包括一个或多个沉积组件，沉积组件和基底保持预定距离，并被配置为当第一传送单元以扫描方法传送基底经过一个或多个沉积组件时在基底上沉积材料；腔室；卸载单元，被配置为在基底上的沉积完成之后将基底从移动单元分离；和可容纳备份移动单元的第一移动单元储料器。
Abstract(English):

A deposition apparatus includes a first transporting unit configured to transport moving units, to which substrates may be detachably affixed, in a first direction; and a second transporting unit configured to transport empty moving units, from which the respective substrates have been detached, in a return direction opposite to the first direction, wherein the moving units are transported cyclically in reusing fashion.

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