激光焊接方法、激光焊接夹具、半导体装置
Abstract:
本发明提供一种能够提高焊接部的接合强度的激光焊接方法、激光焊接夹具、以及使用该方法进行制造的半导体装置。通过利用激光焊接夹具(100)的按压部即多个爪部(39)进行按压,使第一构件即第一被焊接构件(1)与第二构件即第二被焊接构件(2)之间的间隙(10)为300μm以下,并向被爪部(39)夹持的部位的第二被焊接构件(2)照射激光(35)来对2个构件(1、2)进行激光焊接。
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