具有过渡金属缓冲层的包含纳米线电子器件、至少一个纳米线的生长方法以及器件制造方法
Abstract:
本发明涉及一种电子器件,包含衬底(1)、至少一个半导体纳米线(2)和介于该衬底(1)和所述纳米线(2)之间的缓冲层(3)。该缓冲层(3)至少部分地由从其延伸出纳米线(2)的氮化过渡金属层(9)形成,所述氮化过渡金属选自:氮化钒、氮化铬、氮化锆、氮化铌、氮化钼,氮化铪或氮化钽。
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