Invention Grant
- Patent Title: 具有过渡金属缓冲层的包含纳米线电子器件、至少一个纳米线的生长方法以及器件制造方法
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Application No.: CN201380063090.2Application Date: 2013-10-25
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Publication No.: CN104904016BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: B·伊尔特 , B·阿马斯塔特 , M-F·阿曼德 , F·都彭特
- Applicant: 原子能及能源替代委员会 , 阿勒迪亚公司
- Applicant Address: 法国巴黎
- Assignee: 原子能及能源替代委员会,阿勒迪亚公司
- Current Assignee: 原子能及能源替代委员会,阿勒迪亚公司
- Current Assignee Address: 法国巴黎
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 张力更
- Priority: 1260209 2012.10.26 FR
- International Application: PCT/EP2013/072426 2013.10.25
- International Announcement: WO2014/064264 FR 2014.05.01
- Date entered country: 2015-06-03
- Main IPC: H01L29/40
- IPC: H01L29/40 ; H01L21/02 ; H01L29/66 ; H01L29/06 ; H01L29/41 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00 ; H01L33/00 ; H01L33/12 ; H01L33/20 ; C30B29/40 ; C30B29/60 ; C30B29/16 ; C30B29/36 ; C30B25/00

Abstract:
本发明涉及一种电子器件,包含衬底(1)、至少一个半导体纳米线(2)和介于该衬底(1)和所述纳米线(2)之间的缓冲层(3)。该缓冲层(3)至少部分地由从其延伸出纳米线(2)的氮化过渡金属层(9)形成,所述氮化过渡金属选自:氮化钒、氮化铬、氮化锆、氮化铌、氮化钼,氮化铪或氮化钽。
Public/Granted literature
- CN104904016A 配备有过渡金属缓冲层的包含纳米线的电子器件、至少一个纳米线的生长方法以及器件制造方法 Public/Granted day:2015-09-09
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