Invention Grant
- Patent Title: 抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法
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Application No.: CN201510345979.0Application Date: 2015-06-19
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Publication No.: CN105204301BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 李喻珍 , 金圣植 , 房淳洪
- Applicant: 东友精细化工有限公司
- Applicant Address: 韩国全罗北道
- Assignee: 东友精细化工有限公司
- Current Assignee: 东友精细化工有限公司
- Current Assignee Address: 韩国全罗北道
- Agency: 北京市中伦律师事务所
- Agent 石宝忠
- Priority: 10-2014-0076657 2014.06.23 KR
- Main IPC: G03F7/42
- IPC: G03F7/42

Abstract:
本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物,其包括40至55重量%的丙酰胺化合物、35至55重量%的伯醇、和0.1至20重量%的具有1至10个碳原子的烷醇胺,由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺,其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势,并且取得显著增加的剥离能力和溶解性,因而改善了生产收益;以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。
Public/Granted literature
- CN105204301A 抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法 Public/Granted day:2015-12-30
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IPC分类: