抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法
Abstract:
本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物,其包括40至55重量%的丙酰胺化合物、35至55重量%的伯醇、和0.1至20重量%的具有1至10个碳原子的烷醇胺,由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺,其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势,并且取得显著增加的剥离能力和溶解性,因而改善了生产收益;以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。
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