Invention Grant
- Patent Title: 可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法
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Application No.: CN201480026104.8Application Date: 2014-06-26
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Publication No.: CN105209973BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: M·D·拉赫曼 , V·G·R·查达 , 姚晖蓉 , C·安亚蒂格伍 , D·麦克肯兹
- Applicant: AZ电子材料卢森堡有限公司
- Applicant Address: 卢森堡L-1648纪尧姆二世广场46号
- Assignee: AZ电子材料卢森堡有限公司
- Current Assignee: 默克专利有限公司
- Current Assignee Address: 卢森堡L-1648纪尧姆二世广场46号
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 汪宇伟
- Priority: 13/930,711 2013.06.28 US
- International Application: PCT/EP2014/063593 2014.06.26
- International Announcement: WO2014/207142 EN 2014.12.31
- Date entered country: 2015-11-09
- Main IPC: G03F7/09
- IPC: G03F7/09 ; H01L21/027
Abstract:
本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。
Public/Granted literature
- CN105209973A 可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法 Public/Granted day:2015-12-30
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IPC分类:
