Invention Grant
- Patent Title: 磁性退火装置
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Application No.: CN201510556876.9Application Date: 2015-09-02
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Publication No.: CN105386126BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 山崎满 , B·克拉克 , I·科尔根 , G·艾利斯 , I·多姆萨
- Applicant: 东京毅力科创株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 东京毅力科创株式会社
- Current Assignee: 东京毅力科创株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 张会华
- Priority: 2014-179343 2014.09.03 JP
- Main IPC: C30B33/02
- IPC: C30B33/02 ; H01F41/22

Abstract:
本发明提供一种磁性退火装置。采用本申请,该磁性退火装置用于在磁场中对多个基板进行退火,其中,该磁性退火装置包括:横长筒状的处理容器,其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理;加热部件,其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置;磁体,其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置;基板保持工具,其能够在所述处理容器内保持所述多个基板;以及遮热板,其以包围该基板保持工具的至少一部分的方式设置。
Public/Granted literature
- CN105386126A 磁性退火装置 Public/Granted day:2016-03-09
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IPC分类: