辐射敏感树脂组合物及电子部件
Abstract:
本发明提供一种辐射敏感树脂组合物,其含有具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物(A)、下述通式(1)所示的锍盐系光产酸剂(B)及交联剂(C)。(上述通式(1)中,R1、R2、R3各自独立地表示碳原子数6~30的芳基、碳原子数4~30的杂环基、碳原子数1~30的烷基、碳原子数2~30的烯基或碳原子数2~30的炔基,且这些基团任选具有取代基,a为1~5的整数)。
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