Invention Publication
CN105474095A 辐射敏感树脂组合物及电子部件
无效 - 撤回
- Patent Title: 辐射敏感树脂组合物及电子部件
- Patent Title (English): Radiation-sensitive resin composition, and electronic component
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Application No.: CN201480046646.1Application Date: 2014-09-02
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Publication No.: CN105474095APublication Date: 2016-04-06
- Inventor: 阿部聪
- Applicant: 日本瑞翁株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本瑞翁株式会社
- Current Assignee: 日本瑞翁株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市嘉元知识产权代理事务所
- Agent 张永新
- Priority: 2013-184720 2013.09.06 JP
- International Application: PCT/JP2014/072984 2014.09.02
- International Announcement: WO2015/033901 JA 2015.03.12
- Date entered country: 2016-02-23
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004 ; G03F7/038

Abstract:
本发明提供一种辐射敏感树脂组合物,其含有具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物(A)、下述通式(1)所示的锍盐系光产酸剂(B)及交联剂(C)。(上述通式(1)中,R1、R2、R3各自独立地表示碳原子数6~30的芳基、碳原子数4~30的杂环基、碳原子数1~30的烷基、碳原子数2~30的烯基或碳原子数2~30的炔基,且这些基团任选具有取代基,a为1~5的整数)。
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