Invention Grant
- Patent Title: 基板抛光期间对抛光速率的限制性调整
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Application No.: CN201480063533.2Application Date: 2014-11-12
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Publication No.: CN105745743BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: D·J·本韦格努 , B·切里安 , S·德汉达帕尼 , H·Q·李
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 黄嵩泉
- Priority: 14/092,429 2013.11.27 US
- International Application: PCT/US2014/065243 2014.11.12
- International Announcement: WO2015/080864 EN 2015.06.04
- Date entered country: 2016-05-20
- Main IPC: H01L21/66
- IPC: H01L21/66 ; H01L21/304

Abstract:
一种控制抛光的方法,所述方法包括以下步骤:以第一抛光速率抛光基板的区;在抛光期间,用原位监测系统测量基板的区的序列特征值;对于抛光终点时刻之前的多个调整时刻中的每一个调整时刻,确定抛光速率调整;以及调整抛光参数,以便以第二抛光速率抛光基板。所述时段比多个调整时刻之间的时段长,并且预估时刻在所述抛光终点时刻之前。第二抛光速率是通过抛光速率调整所调整的第一抛光速率。
Public/Granted literature
- CN105745743A 基板抛光期间对抛光速率的限制性调整 Public/Granted day:2016-07-06
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IPC分类: