基板抛光期间对抛光速率的限制性调整
Abstract:
一种控制抛光的方法,所述方法包括以下步骤:以第一抛光速率抛光基板的区;在抛光期间,用原位监测系统测量基板的区的序列特征值;对于抛光终点时刻之前的多个调整时刻中的每一个调整时刻,确定抛光速率调整;以及调整抛光参数,以便以第二抛光速率抛光基板。所述时段比多个调整时刻之间的时段长,并且预估时刻在所述抛光终点时刻之前。第二抛光速率是通过抛光速率调整所调整的第一抛光速率。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0