Invention Grant
- Patent Title: 研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液
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Application No.: CN201610079482.3Application Date: 2016-02-04
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Publication No.: CN105838258BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 吉田有衣子
- Applicant: AGC株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: AGC株式会社
- Current Assignee: AGC株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 杨海荣; 穆德骏
- Priority: 2015-019935 2015.02.04 JP
- Main IPC: C09G1/02
- IPC: C09G1/02 ; H01L21/3105
Abstract:
本发明涉及一种研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液，所述研磨剂的特征在于，含有：氧化铈粒子，具有选自羧酸基和羧酸的盐的至少一者的水溶性有机聚合物，在分子中具有选自叔氨基和氧基亚烷基链的至少一者的水溶性聚酰胺，以及水，且其pH为7以下。
Public/Granted literature
- CN105838258A 研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液 Public/Granted day:2016-08-10
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