Invention Grant
- Patent Title: 高压JFET器件及工艺方法
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Application No.: CN201610268828.4Application Date: 2016-04-27
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Publication No.: CN105914238BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 段文婷
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 丁纪铁
- Main IPC: H01L29/808
- IPC: H01L29/808 ; H01L29/06 ; H01L21/337

Abstract:
本发明公开了一种高压JFET器件,在P型衬底中具有N型深阱,在剖视角度上,N型深阱之上为场氧,场氧两端分别为JFET的源区和漏区,场氧之上覆盖多晶硅场板;所述N型深阱分为第一N型深阱及第二N型深阱两段,第一N型深阱中包含有JFET的源区,第二N型深阱中包含有JFET的漏区以及P型注入层;第一N型深阱和第二N型深阱相互独立;在第一N型深阱与第二N型深阱之间具有P阱,所述P阱与两个N型深阱均有重叠;在第一N型深阱与第二N型深阱之间同时还具有P型注入层,且此P型注入层位于P阱内的正下方,与第一N型深阱和第二N型深阱也均有重叠。本发明JFET器件能实现夹断电压可调,同时还具备较高的击穿电压。本发明还公开了所述高压JFET器件的工艺方法。
Public/Granted literature
- CN105914238A 高压JFET器件及工艺方法 Public/Granted day:2016-08-31
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IPC分类: