高压JFET器件及工艺方法
Abstract:
本发明公开了一种高压JFET器件,在P型衬底中具有N型深阱,在剖视角度上,N型深阱之上为场氧,场氧两端分别为JFET的源区和漏区,场氧之上覆盖多晶硅场板;所述N型深阱分为第一N型深阱及第二N型深阱两段,第一N型深阱中包含有JFET的源区,第二N型深阱中包含有JFET的漏区以及P型注入层;第一N型深阱和第二N型深阱相互独立;在第一N型深阱与第二N型深阱之间具有P阱,所述P阱与两个N型深阱均有重叠;在第一N型深阱与第二N型深阱之间同时还具有P型注入层,且此P型注入层位于P阱内的正下方,与第一N型深阱和第二N型深阱也均有重叠。本发明JFET器件能实现夹断电压可调,同时还具备较高的击穿电压。本发明还公开了所述高压JFET器件的工艺方法。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/80 .....由PN结或其他整流结栅产生场效应的
H01L29/808 ......带有PN结栅的
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