Invention Grant
- Patent Title: SONOS存储器及工艺方法
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Application No.: CN201610621750.XApplication Date: 2016-08-01
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Publication No.: CN106169479BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 郭振强
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 丁纪铁
- Main IPC: H01L27/11568
- IPC: H01L27/11568 ; H01L29/423 ; H01L21/28

Abstract:
本发明公开了一种SONOS存储器,包括:在P阱中具有源区及漏区,源区与漏区之间为存储器的沟道区,在沟道区的硅表面,具有ONO介质层,ONO介质层之上为多晶硅栅极;多晶硅栅极两侧的ONO介质层上为多晶硅栅极的侧墙;所述侧墙为双层结构,靠近多晶硅栅极的内层为氮化硅侧墙,外层为氧化硅侧墙;所述多晶硅栅极底部栅长方向两端具有向多晶硅栅极内部凹陷的空间,该空间内填充氧化硅,使多晶硅栅极沟道两端处的介质层总厚度大于沟道区上方的介质层厚度。本发明还公开了所述SONOS存储器的工艺方法。
Public/Granted literature
- CN106169479A SONOS存储器及工艺方法 Public/Granted day:2016-11-30
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IPC分类: