Invention Grant
- Patent Title: 研磨装置以及研磨头
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Application No.: CN201610352162.0Application Date: 2016-05-25
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Publication No.: CN106181751BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 安田穗积 , 福岛诚 , 锅谷治
- Applicant: 株式会社荏原制作所
- Applicant Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee Address: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- Agency: 上海市华诚律师事务所
- Agent 张丽颖; 高永志
- Priority: 2015-105793 2015.05.25 JP
- Main IPC: B24B37/32
- IPC: B24B37/32 ; B24B37/20 ; B24B37/10 ; B24B37/34

Abstract:
本发明提供一种研磨装置、研磨头以及保持环。研磨装置能够简单地更换保持环、且不使保持环变形就能够将该保持环固定于驱动环。研磨装置具有用于将基板(W)按压于研磨垫(2)的研磨头(1)。研磨头(1)包括:具有基板接触面(45a)的头主体(10);与头主体(10)连结的驱动环(46);包围基板接触面(45a)、并与驱动环(46)连接的保持环(40)。在驱动环(46)形成有第1螺纹(91),在保持环(40)形成有与第1螺纹(91)卡合的第2螺纹(92),第2螺纹(92)沿着保持环(40)的周向延伸。
Public/Granted literature
- CN106181751A 研磨装置、研磨头以及保持环 Public/Granted day:2016-12-07
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