研磨装置以及研磨头
Abstract:
本发明提供一种研磨装置、研磨头以及保持环。研磨装置能够简单地更换保持环、且不使保持环变形就能够将该保持环固定于驱动环。研磨装置具有用于将基板(W)按压于研磨垫(2)的研磨头(1)。研磨头(1)包括:具有基板接触面(45a)的头主体(10);与头主体(10)连结的驱动环(46);包围基板接触面(45a)、并与驱动环(46)连接的保持环(40)。在驱动环(46)形成有第1螺纹(91),在保持环(40)形成有与第1螺纹(91)卡合的第2螺纹(92),第2螺纹(92)沿着保持环(40)的周向延伸。
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