Invention Publication
- Patent Title: 复合基板的分割方法及分割装置
- Patent Title (English): Break method for composite substrate and break device therefor
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Application No.: CN201510280256.7Application Date: 2015-05-27
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Publication No.: CN106182152APublication Date: 2016-12-07
- Inventor: 田村健太 , 武田真和 , 村上健二 , 德毛宏
- Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
- Applicant Address: 日本国大阪府
- Assignee: 三星钻石工业股份有限公司
- Current Assignee: 三星钻石工业股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本国大阪府
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 沈锦华
- Priority: 2014-168815 2014.08.21 JP 2015-068496 2015.03.30 JP
- Main IPC: B26D7/08
- IPC: B26D7/08

Abstract:
本发明提供一种能够将复合基板以无分断残留的状态确实且有效率地分割的复合基板的分割方法及分割装置。复合基板(W)是在包含脆性材料的基板主体(1)的单面隔着接着层(2)而形成有树脂层(3)且在基板主体(1)的表面形成有多条划线(S),分割方法包括:第一分割步骤,通过将复合基板(W)的基板主体(1)设为下侧而贴附在胶带(5)上,并将分割杆(8)从树脂层(3)的上表面压抵于划线(S),而将分割杆(8)的刀尖一边切入树脂层(3)及接着层(2)一边压入,并且使基板主体(1)向下方弯曲而沿划线(S)将基板主体上侧,并使辊(13)在复合基板(W)的上表面的整个宽度上進行按压滚动,而使在第一分割步骤中经分割的分断线(L)再次弯曲而将分断残留部分分割。(1)分割;及第二分割步骤,通过将胶带(5)设为
Public/Granted literature
- CN106182152B 复合基板的分割方法及分割装置 Public/Granted day:2019-10-11
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