硅锭切割机的工作台、硅锭切割机及硅锭切割方法
Abstract:
本发明公开了一种硅锭切割机的工作台、硅锭切割机及硅锭切割方法,该工作台包括:并列设置的至少两个工位平台,用于承托硅锭;工位平台包括平台底座及设于平台底座上的硅锭承托台;工位转换装置,连接于至少两个工位平台,用于驱动至少两个工位平台运动以使得至少两个工位平台转换工位位置。本发明硅锭切割机的工作台中的至少两个工位平台通过工位转换装置而转换工位位置,能实现工位平台的自动且准确的转换,使得线切割装置能对装载于至少两个工位平台上的待切割的硅锭实现交替切割,保证多批硅锭可以有序进行切割作业,解决了现有技术中切割效率低下、工作台转换不便等问题。
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