Invention Publication
- Patent Title: 一种双重版图的设计方法及系统
- Patent Title (English): Method and system for designing double patterning
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Application No.: CN201510415365.5Application Date: 2015-07-15
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Publication No.: CN106339519APublication Date: 2017-01-18
- Inventor: 于丽贤 , 韦亚一 , 粟雅娟
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 北京维澳专利代理有限公司
- Agent 党丽; 江怀勤
- Main IPC: G06F17/50
- IPC: G06F17/50

Abstract:
本发明提供一种双重版图的设计方法,包括:提供分解版图;将分解版图进行光源掩膜协同优化仿真,获得限制重叠工艺窗口的热点区域;调整热点区域中图形的尺寸和/或间距,并进行光源掩膜协同优化仿真,以消除热点区域;将热点区域消除时设定的图形的尺寸和/间距添加至规则库中,获得更新的规则库;按照更新的规则库中的拆分规则,对至少包括热点区域的版图部分的图形进行拆分,获得热点区域分解版图;将热点区域分解版图更新至原始分解版图,获得更新的分解版图。该方法在设计过程中优化拆分,避免前期拆分不当产生设计缺陷而导致的反复拆分,简化设计并提高设计效率。
Public/Granted literature
- CN106339519B 一种双重版图的设计方法及系统 Public/Granted day:2019-10-11
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