一种双重版图的设计方法及系统
Abstract:
本发明提供一种双重版图的设计方法,包括:提供分解版图;将分解版图进行光源掩膜协同优化仿真,获得限制重叠工艺窗口的热点区域;调整热点区域中图形的尺寸和/或间距,并进行光源掩膜协同优化仿真,以消除热点区域;将热点区域消除时设定的图形的尺寸和/间距添加至规则库中,获得更新的规则库;按照更新的规则库中的拆分规则,对至少包括热点区域的版图部分的图形进行拆分,获得热点区域分解版图;将热点区域分解版图更新至原始分解版图,获得更新的分解版图。该方法在设计过程中优化拆分,避免前期拆分不当产生设计缺陷而导致的反复拆分,简化设计并提高设计效率。
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