石英玻璃的制备方法及石英玻璃
Abstract:
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F2等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液,第一掺杂化合物为含铝化合物,第二掺杂化合物包括含Zr化合物、含Y化合物、含La化合物、含Sc化合物、含Th化合物、含V化合物、含Ti化合物中至少一种;将二氧化硅疏松体在掺杂混合溶液中浸泡,经过烧制为石英玻璃成品。成品包含烧制转化Al2O3、经烧制转化ZrO2、Y2O3、La2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2中的至少一种。Al2O3、ZrO2、Y2O3、La2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2以网络中间体或网络外体形式填充在SiO2四面体网络结构的孔隙中,石英玻璃抗酸性腐蚀。
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