Invention Publication

负型感光树脂组合物
Abstract:
本发明提供负型感光树脂组合物,其包括:包含特定重复单元的第一碱溶性树脂;包含特定重复单元的第二碱溶性树脂;聚合性化合物;光聚合引发剂;和溶剂,从而在光刻法中表现出优异的图案化能力并使得能够形成具有优异的机械性能、耐久性和对底部衬底的粘合性的图案。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0