Invention Publication
- Patent Title: 用于转动速率传感器的微机械的传感器构件
- Patent Title (English): Micromechanical sensor component for a rotation rate sensor
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Application No.: CN201580032495.9Application Date: 2015-05-07
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Publication No.: CN106461395APublication Date: 2017-02-22
- Inventor: T.奥姆斯 , R.莫尔 , M.哈塔斯 , C.赫普纳 , B.施密特 , R.舍本
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 梁冰; 宣力伟
- Priority: 102014211646.5 2014.06.18 DE
- International Application: PCT/EP2015/060099 2015.05.07
- International Announcement: WO2015/193028 DE 2015.12.23
- Date entered country: 2016-12-16
- Main IPC: G01C19/5733
- IPC: G01C19/5733 ; G01C19/5747

Abstract:
本发明涉及用于转动速率传感器的微机械的传感器构件,其带有:第一、第二、第三和第四激振质量(12a至12d),该激振质量围绕中间空间能够调节地布置在所述保持部(10)处;所述第一激振质量(12a)和所述第二激振质量(12b)至少沿着第一振动轴线(14)能够调节并且所述第三激振质量(12c)和第四激振质量(12d)至少沿着第二振动轴线(16)能够调节,其中,第一跷动结构(26a)经过第一跷动-耦合元件(28a)与第一激振质量(12a)并且经过第二跷动-耦合元件(28b)与第二激振质量(12b)相连,并且相邻于所述第三激振质量(12c)的外侧(30a)如此地布置在所述保持部(10)处,使得所述第一跷动结构(26a)关于所述保持部(10)能够进入围绕预先给定的第一转动轴线(32a)的第一跷动运动中。
Public/Granted literature
- CN106461395B 用于转动速率传感器的微机械的传感器构件 Public/Granted day:2019-08-13
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