用于转动速率传感器的微机械的传感器构件
Abstract:
本发明涉及用于转动速率传感器的微机械的传感器构件,其带有:第一、第二、第三和第四激振质量(12a至12d),该激振质量围绕中间空间能够调节地布置在所述保持部(10)处;所述第一激振质量(12a)和所述第二激振质量(12b)至少沿着第一振动轴线(14)能够调节并且所述第三激振质量(12c)和第四激振质量(12d)至少沿着第二振动轴线(16)能够调节,其中,第一跷动结构(26a)经过第一跷动-耦合元件(28a)与第一激振质量(12a)并且经过第二跷动-耦合元件(28b)与第二激振质量(12b)相连,并且相邻于所述第三激振质量(12c)的外侧(30a)如此地布置在所述保持部(10)处,使得所述第一跷动结构(26a)关于所述保持部(10)能够进入围绕预先给定的第一转动轴线(32a)的第一跷动运动中。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0