Invention Grant
- Patent Title: 光刻设备、对象定位系统和器件制造方法
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Application No.: CN201580032779.8Application Date: 2015-05-21
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Publication No.: CN106462083BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: P·德维特 , Y·德沃斯 , P·赫姆佩纽斯 , N·科姆珀 , R·M·G·里杰斯 , F·范德梅尤伦 , S·博伊瑞
- Applicant: ASML荷兰有限公司
- Applicant Address: 荷兰维德霍温
- Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee Address: 荷兰维德霍温
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 王茂华
- Priority: 14173146.3 2014.06.19 EP
- International Application: PCT/EP2015/061193 2015.05.21
- International Announcement: WO2015/193053 EN 2015.12.23
- Date entered country: 2016-12-16
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20

Abstract:
本发明涉及提供一种用于光刻设备的温度调节系统。对象中的温度变化引起对象变形,这阻碍了对象被精确定位。温度调节系统使用对象中或上的设置有流体的导管系统以控制对象的温度,从而减小对象变形。以这种方式,可以更精确地定位对象的部分。然而,对象的加速和温度调节系统引发对象上或中的导管系统内的流体的压力变化,这也会引起对象变形。为了提供改进的导管系统,光刻设备还包括控制系统,其用于基于表示导管中的压力变化的测量值来控制对象的移动。
Public/Granted literature
- CN106462083A 光刻设备、对象定位系统和器件制造方法 Public/Granted day:2017-02-22
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IPC分类: