一种刮板细度计示值误差的非接触自动校准装置及方法
Abstract:
本发明公开了一种刮板细度计示值误差的非接触自动校准装置及方法。二维运动平台装在大理石底座上,定位凹槽装载在二维运动平台上固定,通过二维运动平台带动定位凹槽水平双向线性移动,刮板细度计安装在定位凹槽中,电机驱动机构固定在二维运动平台一侧的大理石底座上,纵向运动数据采集机构安装在电机驱动机构上并由电机驱动机构带动上下运动,通过二维运动平台的水平移动使得纵向运动数据采集机构上的传感器探测刮板细度计表面进行检测;由激光位移传感器监控反馈,控制电机驱动机构进行纵向上下移动,粗定位至光谱共焦位移传感器的工作距离范围内,再由光谱共焦位移传感器实现亚微米级精确测量。本发明结构简单,测量效率高,测量结果准确可靠。
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