嵌段共聚物和相关光致抗蚀剂组合物以及形成电子装置的方法
Abstract:
本发明涉及一种适用于电子束和远紫外线光刻的嵌段共聚物,其包括具有来源于碱溶解度增强型单体和频带外吸收型单体的单元的第一嵌段,和具有低表面能的第二嵌段。来源于频带外吸收型单体的重复单元允许共聚物在150到400纳米波长范围内大量吸收。当与光致抗蚀剂无规聚合物一起并入光致抗蚀剂组合物中时,所述嵌段共聚物自动分离以形成可有效屏蔽频带外辐射的顶层。
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