一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法
Abstract:
本发明提供了一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法,包括如下步骤:(a)对SrTiO3基板进行表面台阶处理,获得具有TiO2表面台阶的基板;(b)采用脉冲激光法在步骤(a)所得的基板上沉积LaAlO3薄膜,使得在LaAlO3/SrTiO3界面出现二维电子气;(c)采用脉冲激光法在步骤(b)所得的LaAlO3/SrTiO3上沉积超薄LaNiO3薄膜。本发明首先采用酸性溶液将SrTiO3基板处理为具有特定宽度的台阶状态,然后在其上沉积LaAlO3薄膜,界面处形成一层二维电子气,最后再沉积LaNiO3薄膜,所制得的薄膜具有较低的电阻率,同时,电输运性能可以通过控制LaAlO3的厚度进行调控,实现超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化。本发明制备工艺简单,适用范围广,利于实用化,具有广阔应用前景。
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