Invention Grant
CN106702327B 一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法
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Application No.: CN201710015597.0Application Date: 2017-01-10
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Publication No.: CN106702327BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 宁兴坤 , 陈明敬 , 王淑芳 , 傅广生
- Applicant: 河北大学
- Applicant Address: 河北省保定市五四东路180号河北大学
- Assignee: 河北大学
- Current Assignee: 河北大学
- Current Assignee Address: 河北省保定市五四东路180号河北大学
- Agency: 石家庄国域专利商标事务所有限公司
- Agent 苏艳肃
- Main IPC: C23C14/28
- IPC: C23C14/28 ; C23C14/08 ; C23C14/02

Abstract:
本发明提供了一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法,包括如下步骤:(a)对SrTiO3基板进行表面台阶处理,获得具有TiO2表面台阶的基板;(b)采用脉冲激光法在步骤(a)所得的基板上沉积LaAlO3薄膜,使得在LaAlO3/SrTiO3界面出现二维电子气;(c)采用脉冲激光法在步骤(b)所得的LaAlO3/SrTiO3上沉积超薄LaNiO3薄膜。本发明首先采用酸性溶液将SrTiO3基板处理为具有特定宽度的台阶状态,然后在其上沉积LaAlO3薄膜,界面处形成一层二维电子气,最后再沉积LaNiO3薄膜,所制得的薄膜具有较低的电阻率,同时,电输运性能可以通过控制LaAlO3的厚度进行调控,实现超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化。本发明制备工艺简单,适用范围广,利于实用化,具有广阔应用前景。
Public/Granted literature
- CN106702327A 一种超薄镍酸镧薄膜电输运性能的优化方法 Public/Granted day:2017-05-24
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