一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜,其中M为III族元素B、Al、Ga、In、Sc、Y。其中:Cu与Sn共同作为材料的基体元素,Cu为+1价,Sn为+2价,二者与O结合形成材料的p型导电特性;M为+3价,具有较低的标准电势、与O有高的结合能,在基体中作为空穴浓度的控制元素;同时,Sn具有球形电子轨道,在非晶状态下电子云也可高度重合,因而Sn也起到空穴传输通道的作用。本发明还公开了p型CuAlSnO非晶氧化物半导体薄膜的制备方法及其在薄膜晶体管中的应用。制得的薄膜空穴浓度1014~1015cm‑3,可见光透过率≧80%。以p型CuAlSnO非晶薄膜为沟道层制得的TFT的开关电流比(1~9)×104,场效应迁移率0.4~5cm2/Vs。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/02 .按其半导体本体的特征区分的
H01L29/06 ..按其形状区分的;按各半导体区域的形状、相对尺寸或配置区分的
H01L29/10 ...具有连接到1个不通有待整流、放大或切换的电流的电极上去的半导体区域的;并且这样的电极又是包含3个或更多个电极的半导体器件的组成部分的
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