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CN106711192B 一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法
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Application No.: CN201610914016.2Application Date: 2016-10-20
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Publication No.: CN106711192BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 吕建国 , 于根源 , 黄靖云 , 叶志镇
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Agency: 杭州宇信知识产权代理事务所
- Agent 张宇娟; 衣秀丽
- Main IPC: H01L29/10
- IPC: H01L29/10 ; H01L29/24 ; H01L29/786 ; H01L21/203

Abstract:
本发明公开了一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜,其中M为III族元素B、Al、Ga、In、Sc、Y。其中:Cu与Sn共同作为材料的基体元素,Cu为+1价,Sn为+2价,二者与O结合形成材料的p型导电特性;M为+3价,具有较低的标准电势、与O有高的结合能,在基体中作为空穴浓度的控制元素;同时,Sn具有球形电子轨道,在非晶状态下电子云也可高度重合,因而Sn也起到空穴传输通道的作用。本发明还公开了p型CuAlSnO非晶氧化物半导体薄膜的制备方法及其在薄膜晶体管中的应用。制得的薄膜空穴浓度1014~1015cm‑3,可见光透过率≧80%。以p型CuAlSnO非晶薄膜为沟道层制得的TFT的开关电流比(1~9)×104,场效应迁移率0.4~5cm2/Vs。
Public/Granted literature
- CN106711192A 一种p型CuMSnO非晶氧化物半导体薄膜及其制备方法 Public/Granted day:2017-05-24
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