一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置及电解加工方法
Abstract:
本发明公开了一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置及电解加工方法,包括:第一腔体,嵌在第一腔体里的衬底,安装在衬底上的工件,设置在工件上表面的具有蛇形流道的掩模板,以及设置在掩模板上表面的第二腔体;其中,第二腔体的底面作为阴极块;阴极块的本体贯穿有辅助供液孔。由于本发明的掩模板采用表面层层压紧的方式固定,形成微小的走液流道进行电解加工,同时在阴极块的本体增设有辅助供液孔,用于改善蛇形流道的拐弯处流场不均匀的问题,并且该辅助供液孔提供新鲜电解液,使整个加工区电解液的电导率保持在相对稳定的水平,从而在金属工件表面高效加工出尺寸一致性好、表面质量较高的平面曲折微沟槽,并且掩模板可多次重复使用。
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