Invention Publication
- Patent Title: 全息观测透射电镜试样的制备方法
- Patent Title (English): Preparation method of holographic observation electron microscope sample
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Application No.: CN201710082405.8Application Date: 2017-02-16
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Publication No.: CN106908290APublication Date: 2017-06-30
- Inventor: 杜海峰 , 金驰名 , 田明亮
- Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Applicant Address: 安徽省合肥市蜀山湖路350号2号楼1110信箱
- Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市蜀山湖路350号2号楼1110信箱
- Agency: 合肥和瑞知识产权代理事务所
- Agent 任岗生
- Main IPC: G01N1/28
- IPC: G01N1/28

Abstract:
本发明公开了一种全息观测透射电镜试样的制备方法。它先于待测样品的表面溅射100‑500nm厚的由粒径10‑50nm的金属颗粒组成的金属弱吸附层,或涂敷100‑500nm厚的有机胶弱吸附层,再于金属弱吸附层或有机胶弱吸附层的表面沉积500nm‑4μm厚的含有机物的保护层,之后,先使用聚焦离子束将观察区域的待测样品切割成30‑150nm厚的透射薄片,再将透射薄片的两端切割至待测样品处,得到透射电镜样品,最后,先使用聚焦离子束清理透射电镜样品表面的非晶层,再将其顶端的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层连同含有机物的保护层剥离,制得目的产物。它可用作电子全息探测的TEM样品,广泛地用于获取样品的电场分布和磁场分布的本征电子全息信息。
Public/Granted literature
- CN106908290B 全息观测透射电镜试样的制备方法 Public/Granted day:2019-10-11
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