立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法
Abstract:
本发明涉及一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、球面波转换镜、三维调整机构A、三维调整机构B、二维调整机构、PC机、被测球面、支架;调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能过方便、快速、准确的调整球面被测件以满足测量的要求,有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整的问题,能够通过调整被测件位置解决大数值孔径的球面被测件的子孔径拼接测量,实现全孔径检测。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0