Invention Grant

对复合结构的在线检验
Abstract:
本发明描述了一种具有照明系统的在线检验方法和系统,所述照明系统以不同的强度同时地或循序地提供亮场和暗场照明,以便获取可以由图像处理装置读取的图像。所述图像处理装置可以获得对所述图像中的特征的测量,并且评估所述特征的可接受性。
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