用于制造紧凑型微米或纳米电容器的方法和紧凑型微米或纳米电容器
Abstract:
本发明涉及微电子的领域并且涉及紧凑型电容器,其例如可用在高频振荡电路和高频滤波器中。本发明的目的是提出一种紧凑型微米或纳米电容器,其具有功能层的可靠且简单的接触。该目的通过用于制造紧凑型微米或纳米电容器的方法实现,其特征在于,在衬底上布置有叠层,其含有至少两个功能层、由二维材料构成的两个层以及由电绝缘材料构成的至少两个层,并且具有二维材料层和至少两个功能层布置成横向于卷起方向在每一侧上交替地伸出超过叠层的宽度,并且随后卷起叠层以及使伸出的层彼此材料连接。
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