本发明提供感光性树脂层层压在支承薄膜上而得到的感光性树脂层压体，所述感光性树脂层包含(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，感光性树脂层压体用于形成导体部的保护膜，感光性树脂层的厚度为20μm以下，且感光性树脂层的固化物满足下述(1)～(3)的条件：(1)交联密度为1,000mol/m3～8,000mol/m3；(2)Tanδ的峰顶值为0.4以上；以及(3)波长532nm下的折射率为1.50～1.60。