三端口压电超声换能器
Abstract:
压电微机械超声换能器PMUT包含安置于腔上方的膜片,所述膜片包含压电层堆叠,所述压电层堆叠包含压电层、与收发器电路电耦合的第一电极以及与所述收发器电路电耦合的第二电极。所述第一电极可安置于所述膜片的第一部分中,且所述第二电极可安置于所述膜片的单独的第二部分中。所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近,所述第一表面与所述腔对置。所述PMUT经配置以在第一时间段期间借助于所述第一电极发射第一超声信号并在第二时间段期间借助于所述第二电极接收第二超声信号,所述第一时间段与所述第二时间段至少部分地重叠。
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