Invention Publication
- Patent Title: 一种Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法
- Patent Title (English): Fe-Ni-P or Fe-Ni-P-RE amorphous alloy plating layer as well as plating liquid for electrodepositing and electrodepositing method thereof
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Application No.: CN201710389877.8Application Date: 2017-05-27
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Publication No.: CN107142503APublication Date: 2017-09-08
- Inventor: 刘志权 , 高丽茵
- Applicant: 中国科学院金属研究所
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- Assignee: 中国科学院金属研究所
- Current Assignee: 中国科学院金属研究所
- Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- Agency: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- Agent 许宗富; 周秀梅
- Main IPC: C25D3/56
- IPC: C25D3/56 ; C22C45/02 ; C22C45/04

Abstract:
本发明公开了一种Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法,属于电沉积技术领域。本发明以乳酸和EDTA作为络合剂,镀液其余组分为亚铁盐、镍盐、NaH2PO2、RECl3、H3BO3及添加剂。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作为络合剂的镀液,电沉积得到Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层,该镀层中铁含量为5%‑90%,镍含量为5%‑90%,铁和镍含量之和为80%‑92%,稀土元素的质量百分比为0‑5%,余量为磷。本发明通过调试镀液温度、电流密度和pH等工艺条件,成功制备了具有优异软磁性能的Fe‑Ni‑P(RE)合金薄膜,应用于微电子以及半导体功能器件领域。
Public/Granted literature
- CN107142503B 一种Fe-Ni-P或Fe-Ni-P-RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 Public/Granted day:2019-10-11
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