固态原子自旋传感结构表面应力噪声超高精度测试系统
Abstract:
本发明公开了一种固态原子自旋传感结构表面应力噪声超高精度测试系统,包括探头,所述探头包括金刚石衬底,所述金刚石衬底上表面中部加工有金刚石NV色心波导,所述金刚石衬底上表面生长一层覆盖NV色心波导的金刚石折射率匹配层作为反射膜,所述金刚石衬底上表面加工微带天线阵列,所述微带天线阵列延伸有微带天线端口,所述微带天线端口连接微波源,所述微带天线阵列上表面镀有压磁薄膜。本发明采用内嵌NV色心的波导的金刚石衬底作为敏感单元,利用激光实现电子能级跃迁,通过扫描微波,压力探头内的压磁薄膜感受外界压力会产生与压力大小相关的磁场,通过荧光强度谱线两个峰值对应的微波频率的差值来对压力进行标定,实现压力的超高精度测量。
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