一种光伏太阳能硅片减薄处理装置
Abstract:
本发明一种光伏太阳能硅片减薄处理装置公开了一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。其特征在于密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述导液槽为网纹状结构,所述磨削工作台中心位置导液槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上。
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