波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法
Abstract:
本发明涉及一种波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法,波长调谐激光器发射的激光在光路系统中分别从待测件与参考镜反射回来并发生干涉,CCD接收从待测件与参考镜返回的干涉激光并记录干涉光强。根据硬件移相原理通过压电陶瓷一调整参考镜的位置测量待测件面形W1;利用波长移相算法通过改变波长测量被测件面形W2。确定当|W2‑W1|最小时的干涉腔长。通过压电陶瓷二调整待测件的位置,利用激光多普勒干涉仪记录压电陶瓷二移动距离L。利用波长移相算法分析压电陶瓷二移动L后的待测件面形W3,分析压电陶瓷二调整前后测得的待测件面形W3和W2之间的差值是否与压电陶瓷二的移动距离L一致,从而得到波长移相算法精度,达到标定测量精度的目的。
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