Invention Publication
- Patent Title: 一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法
- Patent Title (English): Pressure sensor using electromagnetic principles and working method of sensor
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Application No.: CN201710406457.6Application Date: 2017-06-01
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Publication No.: CN107246928APublication Date: 2017-10-13
- Inventor: 聂萌 , 夏云汉 , 杨恒山
- Applicant: 东南大学
- Applicant Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Assignee: 东南大学
- Current Assignee: 东南大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Agency: 南京苏高专利商标事务所
- Agent 柏尚春
- Main IPC: G01L1/12
- IPC: G01L1/12 ; G01L9/16

Abstract:
本发明公开了一种压力传感器,包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单,且利用电磁原理实现压力测量,过程简单。同时,本发明还提供压力传感器的工作方法,易于实现。
Public/Granted literature
- CN107246928B 一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法 Public/Granted day:2019-10-11
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