• Patent Title: 一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法
  • Patent Title (English): Pressure sensor using electromagnetic principles and working method of sensor
  • Application No.: CN201710406457.6
    Application Date: 2017-06-01
  • Publication No.: CN107246928A
    Publication Date: 2017-10-13
  • Inventor: 聂萌夏云汉杨恒山
  • Applicant: 东南大学
  • Applicant Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
  • Assignee: 东南大学
  • Current Assignee: 东南大学
  • Current Assignee Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
  • Agency: 南京苏高专利商标事务所
  • Agent 柏尚春
  • Main IPC: G01L1/12
  • IPC: G01L1/12 G01L9/16
一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法
Abstract:
本发明公开了一种压力传感器,包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单,且利用电磁原理实现压力测量,过程简单。同时,本发明还提供压力传感器的工作方法,易于实现。
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