一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构
Abstract:
本发明公开一种晶圆盒自动定位机构,包括矩形的晶圆盒托盘,所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块,所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨,所述直线导轨上安装有调整块,所述调整块顶端设置有调整块连接件,所述调整块连接件连接有驱动电机,所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车,包括自动引导运输车,所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架,所述车架上安装有晶圆盒升降台,所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构,使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。
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