Invention Grant
- Patent Title: 一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构
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Application No.: CN201710749604.XApplication Date: 2017-08-28
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Publication No.: CN107323990BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 刘治松 , 孙萌 , 王东明 , 于国庆
- Applicant: 大连佳峰自动化股份有限公司
- Applicant Address: 辽宁省大连市开发区福泉北路27号
- Assignee: 大连佳峰自动化股份有限公司
- Current Assignee: 大连佳峰自动化股份有限公司
- Current Assignee Address: 辽宁省大连市开发区福泉北路27号
- Agency: 北京高沃律师事务所
- Agent 王加贵
- Main IPC: B65G35/00
- IPC: B65G35/00 ; B65G47/22

Abstract:
本发明公开一种晶圆盒自动定位机构,包括矩形的晶圆盒托盘,所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块,所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨,所述直线导轨上安装有调整块,所述调整块顶端设置有调整块连接件,所述调整块连接件连接有驱动电机,所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车,包括自动引导运输车,所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架,所述车架上安装有晶圆盒升降台,所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构,使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。
Public/Granted literature
- CN107323990A 一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构 Public/Granted day:2017-11-07
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IPC分类: