一种调节磁控溅射镀膜均匀性的装置
Abstract:
本发明涉及一种调节磁控溅射镀膜均匀性的装置,其结构包括旋转大鼓和竖直溅射靶材,其中竖直溅射靶材设于旋转大鼓的外侧,与旋转大鼓的旋转轴线位于同一平面;竖直溅射靶材由均匀性挡板、金属靶材、电路及靶材冷却系统组成。优点:1)提高镀膜精度,使镀膜过程稳定而高效;2)无需开腔处理,减少损耗。
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