Invention Grant
- Patent Title: 一种调节磁控溅射镀膜均匀性的装置
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Application No.: CN201710620017.0Application Date: 2017-07-26
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Publication No.: CN107354443BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 夏久龙 , 解晗 , 周明祥 , 张春胜 , 陈磊 , 殷履文
- Applicant: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
- Applicant Address: 江苏省南京市中山东路524号
- Assignee: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
- Current Assignee: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
- Current Assignee Address: 江苏省南京市中山东路524号
- Agency: 南京君陶专利商标代理有限公司
- Agent 沈根水
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35 ; C23C14/54

Abstract:
本发明涉及一种调节磁控溅射镀膜均匀性的装置,其结构包括旋转大鼓和竖直溅射靶材,其中竖直溅射靶材设于旋转大鼓的外侧,与旋转大鼓的旋转轴线位于同一平面;竖直溅射靶材由均匀性挡板、金属靶材、电路及靶材冷却系统组成。优点:1)提高镀膜精度,使镀膜过程稳定而高效;2)无需开腔处理,减少损耗。
Public/Granted literature
- CN107354443A 一种调节磁控溅射镀膜均匀性的装置 Public/Granted day:2017-11-17
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