Invention Grant
- Patent Title: 一种蒸发源
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Application No.: CN201710706267.6Application Date: 2017-08-17
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Publication No.: CN107400859BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 邹新
- Applicant: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Agency: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- Agent 黄威
- Main IPC: C23C14/26
- IPC: C23C14/26

Abstract:
本发明提供一种蒸发源,包括由导电材料制成的蒸发源本体;所述蒸发源本体包括:主体,所述主体内部开设有材料腔室;其中,所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端,以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端,所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后,所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料;相较于现有的蒸发源,本发明所提供的蒸发源,自身采用导电材料制成,通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热,进而得到均匀的加热效果,蒸镀制得高品质的膜层。
Public/Granted literature
- CN107400859A 一种蒸发源 Public/Granted day:2017-11-28
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