Invention Publication
CN107419320A 具有几何电解液流动路径的电镀处理器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 具有几何电解液流动路径的电镀处理器
- Patent Title (English): ELECTROPLATING PROCESSOR WITH GEOMETRIC ELECTROLYTE FLOW PATH
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Application No.: CN201611114198.1Application Date: 2013-04-23
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Publication No.: CN107419320APublication Date: 2017-12-01
- Inventor: 兰迪·A·哈里斯 , 丹尼尔·J·伍德拉夫 , 杰弗里·I·特纳 , 格雷戈里·J·威尔逊 , 保罗·R·麦克休
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国; 赵静
- Priority: 13/468,273 2012.05.10 US
- Main IPC: C25D17/00
- IPC: C25D17/00 ; H01L21/288

Abstract:
一种电镀处理器包括电极板,该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板,两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径,防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中,且从薄膜处带走。或者,电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线,该管状薄膜形成盘绕状或其他形状,视情况包括具有直线段的形状。
Public/Granted literature
- CN107419320B 具有几何电解液流动路径的电镀处理器 Public/Granted day:2019-08-13
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