Invention Grant
- Patent Title: 树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及聚合物的合成方法
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Application No.: CN201680018918.6Application Date: 2016-03-09
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Publication No.: CN107429109BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 田村护 , 榎本智之
- Applicant: 日产化学工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 李照明; 段承恩
- Priority: 2015-069956 2015.03.30 JP
- International Application: PCT/JP2016/057426 2016.03.09
- International Announcement: WO2016/158271 JA 2016.10.06
- Date entered country: 2017-09-27
- Main IPC: C08G65/40
- IPC: C08G65/40 ; C09D171/10 ; C09D7/63 ; G03F7/023 ; G03F7/027 ; H01L21/312

Abstract:
本发明的课题是提供含有新聚合物的树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及前述聚合物的合成方法。为此,提供了一种绝缘膜形成用树脂组合物,含有具有下述式(1a)表示的结构单元以及下述式(1b)表示的结构单元的聚合物和有机溶剂。[式中,T0表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团,所述亚芳基的至少1个氢原子被氨基取代了,T1表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团,所述亚芳基具有至少1个下述式(2)表示的取代基,Z表示可以具有取代基的二价的、脂肪族基、芳香族基或脂环基。]
Public/Granted literature
- CN107429109A 树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及聚合物的合成方法 Public/Granted day:2017-12-01
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