树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及聚合物的合成方法
Abstract:
本发明的课题是提供含有新聚合物的树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及前述聚合物的合成方法。为此,提供了一种绝缘膜形成用树脂组合物,含有具有下述式(1a)表示的结构单元以及下述式(1b)表示的结构单元的聚合物和有机溶剂。[式中,T0表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团,所述亚芳基的至少1个氢原子被氨基取代了,T1表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团,所述亚芳基具有至少1个下述式(2)表示的取代基,Z表示可以具有取代基的二价的、脂肪族基、芳香族基或脂环基。]
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