共振的装置、含装置的组及操作方法和等离子体产生设备
Abstract:
共振的装置、含装置的组及操作方法和等离子体产生设备,该装置适于射频功率传送,能够用于产生等离子体,并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源的下游,该装置包括:至少一个电感元件Lp,所述至少一个电感元件在使用时能够由至少一个射频电源供电;至少一个电容元件Cp,所述至少一个电容元件电连接在至少一个电感元件Lp的端子处;该装置具有等于的共振角频率。电容元件Cp和电感元件Lp具有使得在共振状态下电容元件和电感元件提供在该装置的端子处测量的等效阻抗的值,该等效阻抗为电阻式,并且远大于在该装置的端子上游处的寄生阻抗的值,使得寄生阻抗的效应在使用期间能够忽略。
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