一种磁性随机存储器顶电极连接孔的形成方法
Abstract:
本发明提供了一种磁性随机存储器顶电极连接孔的形成方法,步骤如下:S1.提供包括底电极、第一电介质层、MTJ结构单元、钽顶电极和第二电介质层的衬底;S2.在衬底上依次形成氮化硅膜层、顶电极连接孔刻蚀阻挡层和第三电介质层;S3.图形化转移顶电极连接孔图案到第三电介质层;S4.刻蚀第三电介质层,并去掉在图形化转移中残留的有机物,使图案转移到刻蚀阻挡层;S5.对刻蚀阻挡层进行刻蚀;S6.刻蚀氮化硅层;S7.去掉残留的有机物;S8.在顶电极连接孔内壁形成扩散阻止层;S9.采用铜或者钨填充顶电极连接孔,并采用CMP磨平填充物。本发明有效地降低了磁性随机存储器电路顶电极连接孔和MTJ单元短路的风险。
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