Invention Publication
- Patent Title: 划片槽测试结构及测试方法
- Patent Title (English): Scribing groove test structure and test method thereof
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Application No.: CN201710600058.3Application Date: 2017-07-21
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Publication No.: CN107516655APublication Date: 2017-12-26
- Inventor: 吴苑 , 曾志敏
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 郭四华
- Main IPC: H01L23/544
- IPC: H01L23/544 ; H01L21/66

Abstract:
本发明公开了一种划片槽测试结构,同一晶圆上包括芯片形成区域和划片槽,测试结构形成于所述划片槽内。测试结构的第一焊盘形成于芯片形成区域且由顶层正面金属层图形化形成。通过一层以上的正面金属层以及对应的接触孔将测试结构连接到第一焊盘。划片槽的宽度小于第一焊盘的最窄方向的尺寸;通过将第一焊盘设置在芯片形成区域使划片槽的宽度不受第一焊盘的尺寸的影响,从而使划片槽尺寸减少并提高晶圆上的芯片的集成度。本发明还公开了一种划片槽测试结构的测试方法。本发明能提高芯片集成度,从而降低成本。
Public/Granted literature
- CN107516655B 划片槽测试结构及测试方法 Public/Granted day:2019-08-13
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