划片槽测试结构及测试方法
Abstract:
本发明公开了一种划片槽测试结构,同一晶圆上包括芯片形成区域和划片槽,测试结构形成于所述划片槽内。测试结构的第一焊盘形成于芯片形成区域且由顶层正面金属层图形化形成。通过一层以上的正面金属层以及对应的接触孔将测试结构连接到第一焊盘。划片槽的宽度小于第一焊盘的最窄方向的尺寸;通过将第一焊盘设置在芯片形成区域使划片槽的宽度不受第一焊盘的尺寸的影响,从而使划片槽尺寸减少并提高晶圆上的芯片的集成度。本发明还公开了一种划片槽测试结构的测试方法。本发明能提高芯片集成度,从而降低成本。
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