提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。