Invention Grant
- Patent Title: 用于OPC验证的图形分类方法
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Application No.: CN201710695146.6Application Date: 2017-08-15
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Publication No.: CN107527338BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 伍思昕 , 金晓亮 , 袁春雨 , 冯佳计
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 郭四华
- Main IPC: G06T7/00
- IPC: G06T7/00 ; G03F1/36 ; G06F17/50

Abstract:
本发明公开了一种用于OPC验证的图形分类方法,包括步骤:选取两个比对图形中的一个为第一比对图形,另一个为第二比对图形;将第二比对图形进行旋转和镜像的变换得到多个等效比对图形;对第一比对图形和各等效比对图形分别进行分割:确定比对区域范围并选取组成比对图形的所有相关图形;对各相关图形进行矩形分割并形成多个分割矩形;提取各分割矩形的特征值;将第一比对图形的各分割矩形的特征值依次和第二比对图形的各等效比对图形的各分割矩形的特征值进行比较并根据比较结果归类。本发明能实现将具有旋转或镜像关系以及具有细微差异的图形归成同一类,从而能减少同样的验证结果在报告中重复出现的次数,降低排查困难性。
Public/Granted literature
- CN107527338A 用于OPC验证的图形分类方法 Public/Granted day:2017-12-29
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